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上海AI实验室攻克光刻胶难题 芯片材料国产化再进一步

近日,上海人工智能实验室联合厦门大学、苏州国家实验室等合作单位,基于"书生"科学大模型与科学发现平台,成功实现了高纯度、高一致性、高效率的KrF光刻胶树脂创制。这一突破意味着高端光刻胶树脂的稳定制备不再依赖极少数国外供应商的"黑箱能力"。

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